CLEANNER
세정기
특장
- 미세화 패턴의 Wafer를 낮은 Damage로 세정.
- 접액부가 석영Glass가 되어있어 고무, 금속등의 접액 없이
높은 세정력을 가짐.
주파수선택가능
- 1MHz, 2MHz, 3MHz, 4MHz
용도
- 마스크세정, 레지스트 잔류제거, Gate 전극세정, CMP후
세정
특장
- 미세화 패턴의 Wafer를 낮은 Damage로 세정.
- 접액부가 석영Glass가 되어있어 고무, 금속등의 접액 없이 높은 세정력을 가짐.
주파수선택가능
- 1MHz, 2MHz, 3MHz, 4MHz, 5Mhz
용도
- 마스크세정, 레지스트 잔류제거, Gate 전극세정, CMP후 세정
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